
2026-06-26
В июне 2026 года ряд китайских производителей труб из высокочистой нержавеющей стали завершил проверку серийного производства нового поколения сверхчистых труб класса 304L/316L EP. Опираясь на замкнутую систему контроля качества, охватывающую весь цикл от сырья до готовой продукции, эти трубы были официально внедрены в серийное производство на передовых 12-дюймовых линиях по производству полупроводниковых пластин в Китае, что значительно ускорило процесс замены импортных труб для транспортировки специальных жидкостей в полупроводниковой отрасли на отечественные аналоги.
В связи с запуском 28 строящихся в стране 12-дюймовых заводов по производству полупроводниковых пластин требования к чистоте трубопроводов в передовых технологических процессах продолжают ужесточаться: стандарты контроля выделения ионов металлов снижены с 1 ppb до 50 ppt. Обычные трубы могут легко привести к снижению выхода готовой продукции, поэтому трубы сверхвысокой чистоты с электрохимической полировкой (EP), соответствующие стандартам SEMI, стали обязательным требованием для производственных линий. Согласно отраслевым данным, к 2026 году объем внутреннего рынка высокочистых труб для полупроводниковой промышленности превысит 7,8 млрд юаней; спрос на трубы для 12-дюймовых производственных линий в 2,5 раза превышает спрос на 8-дюймовые линии, а годовой темп роста рынка превышает 23%.
Начавшаяся серийная продукция отечественных труб сопровождается полной системой контроля качества на всех этапах производства: проверка материала, размеров и номера печи при поступлении сырья на завод; проведение специального контроля сварных швов после прокатки и сварки; одновременный контроль размеров и шероховатости на этапах внутренней и внешней полировки полуфабрикатов; выявление микродефектов внутри труб с помощью вихретокового контроля (ECT); готовая продукция после ультразвуковой очистки проходит полную повторную проверку на округлость, толщину стенок, точность торцов и чистоту; на всех этапах производственного процесса установлены шесть обязательных контрольных точек, некондиционная продукция немедленно возвращается на доработку, что позволяет исключить риски появления твердых частиц и выделения металла на этапе технологического производства.
Ранее рынок высококачественных труб класса EP долгое время находился под монополией японских и американских производителей, а сроки поставки импортной продукции составляли 3–6 месяцев. К 2026 году отечественные предприятия освоили ключевые технологии — электрохимическую полировку, блестящую отжиг и неразрушающий контроль — и добились стабильного контроля шероховатости внутренней поверхности труб из сверхчистой стали 316L на уровне Ra ≤ 0,05 мкм; их коррозионная стойкость и низкий уровень выделения примесей соответствуют международным лидерам рынка. Продукция уже прошла сертификацию на нескольких отлаженных производственных линиях компаний SMIC и .
По прогнозам отраслевых организаций, в 2026–2030 годах среднегодовой темп роста спроса на высокочистые трубы на внутреннем рынке составит 15,2%. По мере совершенствования технологий контроля качества по всей цепочке доля отечественной продукции в сегменте труб из сверхвысокочистой нержавеющей стали будет стабильно расти с нынешних 35% и станет ключевым компонентом процесса «деяпонизации» и «деамериканизации» цепочки поставок полупроводников.